液晶面板中的VT 1 ~ 4工艺设备分别指的是什么？它具体指的是什么技术，有什么功能？

VT1(Verocytometer)工艺段是指用于制造微显示器件的工艺技术。它使用透射光刻技术在LCD面板上制造非常小的开关元件，如矩阵控制器和线性电阻器。

VT2(电子俘获过程II，ETP

II)工艺部分是指制造薄膜晶体管(tft)的工艺技术。工艺部分包括几个步骤，其中最关键的是离子束注入。

注射)和退火。这些步骤可以制作高质量的超薄栅介质层，提高触摸屏、有机发光二极管或有机发光二极管等显示器件的稳定性和寿命。

VT3(扫描隧道显微镜(STM))工艺部分是指用于制造硅基芯片的工艺技术。工艺部分包括几个步骤，其中最重要的是将检测器和扫描激光器标准化。通过逐点扫描硅基芯片的不同区域，可以制造各种电路和器件。

VT4(硅集成的热处理

电路)工艺部分是指用于制造诸如热传感器的微传感器的工艺技术。工艺部分包括几个步骤，其中退火和加热是最关键的。热敏电阻和压力传感器等微型传感器可以通过加热和冷却硅基芯片来制造。